(1) Табобати пеш аз PVD, аз ҷумла тоза кардани ашё ва коркарди пешакӣ.Усулҳои мушаххаси тозакунӣ тоза кардани шустушӯй, тозакунии ҳалкунандаҳои кимиёвӣ, тозакунии ултрасадо ва тозакунии бомбаборони ионҳоро дар бар мегиранд.
(2) Онҳоро ба танӯр гузоред, аз ҷумла тозакунии камераи вакуумӣ ва асбобҳо ва насб, ба кор андохтан ва пайваст кардани ашё ва асбобҳо.
(3) Вакуумкунӣ, одатан ба 6,6 Па ё бештар аз он обкашӣ мекунад, пеши насоси диффузиро пештар кушоед, то насоси вакуумӣ нигоҳ дошта шавад ва насоси диффузияро гарм кунед.Пас аз он ки пеш аз гармкунӣ кофӣ аст, клапани баланд кушода мешавад ва ба вакууми нимпоёни 6 х 10-3 Па бо насоси диффузионӣ интиқол дода мешавад.
(4) Пухтан, пухтани ашё ба ҳарорати дилхоҳ.
(5) Бомбгузории ион, вакуум одатан аз 10 Па то 10-1 Па, шиддати бомбаборони ион шиддати баланди манфии 200 В то 1 КВ ва вақти ҳамла аз 15 дақиқа то 30 дақиқа аст.
(6) Пеш аз гудохтан, танзими ҷараён барои пеш аз гудохтани мавод, танзими ҷараён барои пеш аз гудохта кардани қабат ва дегазизатсия барои 1min ~ 2dak.Ҷойгиршавии бухоршавӣ.Ҷараёни бухоршавӣ мувофиқи зарурат то ба охир расидани вақти ҷойгиркунии дилхоҳ танзим карда мешавад.Хунуккунӣ, ашёҳо дар камераи вакуумӣ то ҳарорати муайян хунук карда мешаванд.
(7) Пас аз баровардани ашё, камераи вакуумӣ пӯшида мешавад, вакуум ба l × l0-1Pa эвакуатсия карда мешавад ва насоси диффузия то ҳарорати иҷозатдодашуда пеш аз он ки насоси нигоҳдорӣ ва оби хунуккунӣ хомӯш карда шавад, хунук карда мешавад.